威海长和光导科技有限公司在生产光纤预制棒过程中，需要使用大量氦气作为载气或保护气，纯度要求在 5N（99.999%）以上，使用完后直接排放，排放的尾气中氦气含量约 60%，为节约氦气资源，对工厂废气进行回收、净化处理后循环使用。尾气回收后经碱洗除氯，催化加氧除氢，低温冷凝除氮，低温吸附精制工艺最终得到 5N（99.999%）的高纯氦气，供工厂循环使用，该套装置已经稳定运行 2 年，回收效率 80%左右。
