武汉烽火光纤生产过程中,需要使用大量氦气作为载气或保护气,纯度要求在 5N(99.999%)以上,使用完后直接排放,排放的尾气中氦气含量约 35%。为节约氦气资源,对工厂废气进行回收、净化处理后循环使用。尾气回收后经催化加氧除氢,低温冷凝除氮,低温吸附精制工艺最终得到 5N(99.999%)的高纯氦气,供工厂循环使用,该套装置已经稳定运行 2 年,回收效率 75~80%左右。