氦气纯化系统

LD-HE系列大流量氦气纯化系统主要应用于光纤、 光棒、半导体制造过程中废气回收再利用的提纯。 采用化学反应和物理吸附的方法将H2、N2、O2、 H2O、CO、Ar等杂质去除1ppm以下,经提纯后氦气纯 度可达5N。电控部分由PLC和上位机组成，负责纯化 和再生过程实现自动化，并能够实现无人职守。