光纤氘气回收装置
采用化学反应和物理吸附的方法将H2、N2、O2、H2O、CO、THC等杂质去除到ppm级，后氘气纯度可达2N。电控部分由PLC和触摸屏组成，负责纯化和再生过程实现自动化，并能够实现无人职守
LD-D2系列大流量氘气纯化系统主要应用于光纤、半导体、平板显示器制造过程中废气回收再利用的提纯。
LD-D2系列大流量氘气纯化系统主要应用于光纤、半导体、平板显示器制造过程中废气回收再利用的提纯。
产品特点
»流量为0-10M3/h通用型
双纯化柱设计，饱和后自动再生电化学抛光316L不锈钢管件，VCR气体接头全程自动运行，不间断纯化可根据要求将出口杂质含量除至ppm或ppb级。
产品介绍
»光纤制造氘气回收
粗氘气提纯
集成电路制造氘气回收
»平板显示器
粗氘气提纯
集成电路制造氘气回收
»平板显示器
纯化指标
